“我们晶圆片对湿度、温度、洁净度有很高的要求，我们配置多个恒温恒湿仪器不间断运作，如发生停电故障，这一批的晶圆片都会报废，损失会很大。有了双电源供电，上述情况基本就可以杜绝了。”晶圆厂负责人邱金荣说道。11月21日，国网温州供电公司成功地为温州首家晶圆厂完成了双电源供电接入工作，企业正式进入进口生产设备调试阶段。
据了解，芯片由晶圆分割而成，晶圆是芯片生产的载体。5G射频滤波器硅基晶圆片项目于2023年4月签约落地温州龙湾，项目投产后，能年产12万片晶圆，不仅助力减少企业晶圆加工生产对外依赖，形成稳定产能，还将填补温州集成电路产业链相关制造领域的空白。
“我们用到的光刻机、镀膜机等进口仪器都很精密，如果有电压或电流波动，造成停机修复或重启至少要一个星期、甚至要一个月。”精密制造企业对电力供应的稳定性与可靠性要求越来越高，芯片制造过程中，任何微小的电力波动都可能对产品质量造成严重影响，甚至导致整条生产线停滞。因此，为芯片企业提供稳定、可靠的双电源供电显得尤为重要。
为此，国网温州供电公司抽调39人组成专班研究相关方案，为项目量身定制一套双电源接入的方案，以保证供电的可靠与稳定性。该方案于今年1月份启动施工，原本预计需要14个月，到2025年2月份正式完成双电源接入。得益于国网温州供电公司跨区域调配物资、绿色通道评审等方式，该项目工期压缩至11个月，于8月完成单电源接入，让项目能够按时开展设备安装、产线调试等准备工作。为保证晶圆厂第二回电源顺利投运，国网温州供电公司先后组织召开17次会议协调电网配套工程施工及停电配合事宜，同时紧密跟踪第二回专线施工进度，瓯芯项目最终于11月21日实现了双电源供电条件。
此次双电源供电项目的成功实施，不仅提升了芯片企业的生产效能，也为地区经济发展注入了新的活力。未来，国网温州供电公司将继续秉承“人民电业为人民”的企业宗旨，不断优化电力营商环境，为更多高精尖产业提供稳定可靠的电力保障。同时，将进一步探索绿色能源应用，助力芯片企业实现可持续发展。
原标题：温州首家晶圆厂，实现双电源供电
通讯员许惠玲林豪峰